工藝原理：
通過采用紫外線，破壞有機(jī)廢氣分子的化學(xué)鍵，使之裂解形成游離狀態(tài)的原子或基團(tuán)（C*、H*、O*等）；同時(shí)通過裂解混合空氣中的氧氣，使之形成游離的氧原子并結(jié)合生成臭氧：UV＋O2→O-+O*(活性氧)  O+O2→O3(臭氧)。具有強(qiáng)氧化性的臭氧（O3）與有機(jī)廢氣分子被裂解生成的原子發(fā)生氧化反應(yīng)，形成H2O和CO2。

凈化效果與廢氣分子的鍵能、廢氣濃度以及含氧量有關(guān)。整個(gè)凈化過程無需添加任何化學(xué)助劑或者特殊限制條件。從實(shí)際情況來看，UV燈波長的選擇以及廢氣在設(shè)備內(nèi)的合理停留時(shí)間是影響UV光氧化設(shè)備去除效率的主要影響因素。